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超声波扫描显微镜换能器与分辨率和穿透深度的关系

更新时间:2024-03-04      点击次数:284
超声波扫描显微镜换能器与分辨率和穿透深度的关系

超声波扫描显微镜对被测器件是有一定限制的,因为它的工作频率一般在5MHz~400MHz之间,KOK体育(中国)有限公司引进德国的超声波扫描显微镜,其工作频率可达550M。所以它在不同材料中,穿透深度是不同。一般有这样的规律:频率越高的超声波,穿透性越差,但是分辨率高;频率低的超声波,穿透性好,但是分辨率有限

穿透深度(与材料本身有关*穿透深度取决于被测物的弹性参数、信噪比及超声扫描显微镜系统的工作频率。被测物与耦合介质之间较大的声失配会降低穿透深度,但另一方面,高信噪比可以提 高穿透深度。在高声阻抗的固体中超声波的穿透深度与超声波的频率成反比。对于低声阻抗的固体,横波和纵波均可以用于内部成像,因此在这种情况下穿透深度不 受频率的限制。
分辨率:取决于样品和换能器的状况,一般情况下可达到半波长(λ/2)。

频率(MHz

穿透深度*mm

理论分辨率(μm

焦距(mm

5

15,0

300

19

10

10,0

150

15

15

5,1

100

19

20

4,1

75

15

25

4,1

60

15

30

3,4

50

12

40

5,4

38

20

75

3,4

20

12

80

2,2

19

8

100

0,4

15

1

110

2,2

14

8

120

2,2

12

8

 


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