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可编程不锈钢匀胶机

简要描述:可编程精密不锈钢匀胶机,采用高精度工业伺服电机,配置8英寸人机界面,清晰的编程程序界面设置,易学易用。是半导体行业专用仪器设备。适合半导体行业及科研院所,实验室级的研究开发。适合8英寸及以下尺寸晶元旋涂,可编程不锈钢匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-04-03
  • 访  问  量:98

详细介绍



产品介绍:



  称:可编程不锈钢匀胶机

  号:HC220PE

  用:HC220PE可编程不锈钢匀胶机,采用高精度工业伺服电机,配置8英寸人机界面,清晰的编程程序界面设置,易学易用。适合半导体行业及科研院所,实验室级的研究开发。适合8英寸及以下尺寸晶元旋涂,是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。

 

产品概述:



  HC220PE可编程不锈钢匀胶机,采用高级PLC 模块,工业级伺服电机,全自动程序控制,转速精度高,稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。
  设备采用工业级别200瓦伺服电机系统,采用与track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中达到50000RPM/S的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定性和可重复性。

 

性能参数:



l  旋涂程序:采用与track设备类似的程序与设计,最多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒;

l  电机速度:0-10,000rpm;

l  旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载);

l  马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm

l  转速调节精度<1rpm

l  重复性< 1rpm;

l  工艺时间设定: 0-3,000 sec/step

l  时间设置精度:0.1sec;

l  支持wafer尺寸1cm-200mm8"圆晶);

l  旋涂作业均匀性:< ±3% 6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量);

 

产品特点:




l  用高级PLC模块,工业级伺服电机;

l  8英寸彩色触屏控制,人机界面;

l HDPE高分子内腔,耐腐蚀,易清洁,带排废功能;

l内腔壁采用凹面设计,有效防溅;

l可编程写和存储100组程序,每组100步;

l带真空度安全互锁检测功能;

l带盖子安全互锁检测功能;

l带排废接口;

l具有电机进胶保护功能;

l管路易疏通设计;

l具有真空不足提示及保护功能,具有断电后参数自动保存功能;

l正、反转旋涂方向可自由切换;

l旋涂参数可设置循环执行;

l速度-时间曲线实时显示;

l配置四个自动点胶接口,可升级多路自动点胶系统;

l可设置用户密码保护功能;

l配置可调基座,方便调节水平;

 

 

 


 

 

 

 

 

 

 

          不同尺寸的载物盘

 

 

产品外型尺寸:
       
444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)    


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